X射線光電子能譜儀測試

適用領域

    XPS被廣泛應用于分析無機化合物、合金、半導體、聚合物、元素、催化劑、玻璃、陶瓷、染料、紙、墨水、木材、化妝品、牙齒、骨骼、移植物、生物材料、油脂、膠水等。

面向學科

    XPS是分析研究固體表面元素成份、元素分布、元素價態和化學態等表面化學特性方面的重要儀器，原則上能分析除H、He以外的所有元素，尤其適用于分析材料表面元素的化學價等，檢測靈敏度0.1%～1%原子濃度比。 XPS適于分析固體樣品，形狀不限，粉末樣品也可以分析，但以表面光滑的片狀為好，如納米薄膜材料，催化劑，微電子材料，高分子材料，生物材料，金屬材料，半導體材料，無機非金屬材料等。原則上樣品表面應維持欲分析狀態。對表面污染的樣品可采取適當措施，予以清潔，安裝時應使樣品與樣品托有良好的電接觸，具有放射性、揮發性的樣品不宜分析。

樣品要求

    1) 粉末樣品提供10-20mg；     2) 塊狀/薄膜：長寬厚不超出5*5*3mm。如果樣品尺寸大于5*5*3mm，會按尺寸增加費用！超過尺寸提前聯系；     3)樣品必須干燥，樣品制備好以后，盡可能進行真空密封，減少樣品吸附空氣中的污染物，對于某些元素的測試，會有影響；     4)原子百分含量小于5%的元素可能測不出明顯信號，元素窄譜測試默認最強軌道，H、He元素不可以測試，放射性元素提前溝通，元素Li-Mg測試1s軌道，Al-Zn測試2p軌道，Hf-Cm測試4f軌道，如有特殊要求請備注；     5)測磁性樣品，請送樣時提前告知；     6)殊需求：樣品含S，F，I等元素單質不能測試或其他特殊需求，請聯系項目經理；     7)測試需要樣品用導電膠固定在樣品臺上，所以測過的粉末樣品沒法回收，塊體樣品回收可能也受到污染或者破壞，建議盡量不回收樣品；     8)特殊處理的樣品，聯系項目經理具體商議。

收費標準

    1) 總譜+分譜（包括C元素3個內）：140元/樣；     2) 刻蝕/濺射（≤30nm為一次刻蝕）：60元/次；     3) 變溫XPS（可測試溫度范圍室溫-800K）：400元/溫度/樣品     注：每增加一個元素測試費用加收30元；如無注明測試軌道為默認軌道，每個軌道計為一個關注元素，測價帶譜+50元；單獨測價帶譜100元/樣，特殊樣品費用另議（特殊形狀、尺寸比較大、強磁性樣品）

測試儀器

    儀器名稱    X射線光電子能譜儀     儀器型號    Thermo Scientific ESCALAB 250 XI / ESCALAB 250 / Thermo Scientific K-Alpha+     儀器廠家    美國ThermoFisher Scientific     關  鍵 字    XPS、X射線光電子能譜分析、XPS刻蝕     儀器功能：         1) 固體樣品的表面成分分析、化學態分析，取樣深度約為1-10nm；         2) 材料中元素的深度分析，角分辨方式，氬離子與氬團簇離子刻蝕方式；         3) 可進行樣品的原位處理，如原位加熱、冷卻、斷裂。     儀器附件：離子散射譜（ISS），反射電子能量損失譜（REELS），單色化XPS（Al靶），雙陽極（Mg/Al靶），  氬離子團簇離子槍，加熱/冷卻臺，樣品斷裂臺。     

儀器參數

    1) 成像分辨率小于3 μm；     2) 極限能量分辨率為0.43eV；     3) 分析室真空度優于5×10-10 mbar；     4) 能量分析范圍為0-5000eV；     5) 通過能范圍為1-400eV。

測試條件及要求

    1) 室溫測試還是變溫測試，變溫測試請提供需要的溫度；     2) 樣品元素組成；     3) 需要測試的元素及軌道；