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儀器簡(jiǎn)介：美國(guó)布魯克DEKTAK XT適用于納米尺度的表面輪廓測(cè)量、薄膜厚度測(cè)量、表面形貌測(cè)量、應(yīng)力測(cè)量和平整度等精密測(cè)量，應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域。
儀器參數(shù)：測(cè)量重復(fù)性：5?，1δ（10000?的標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階） 最大掃描長(zhǎng)度：55mm 標(biāo)準(zhǔn)垂直測(cè)量范圍：1mm 掃描方式：線性掃描（基于精確光學(xué)平面的樣品臺(tái)）
測(cè)試項(xiàng)目：薄膜厚度、平整度
測(cè)試3個(gè)點(diǎn)位 （測(cè)試周期快，1-2個(gè)工作日，即到即測(cè)）
樣品要求：塊狀固體或者薄膜，長(zhǎng)寬最好在10mm×10mm（不做特殊要求），高度（厚度）不超過(guò)垂直測(cè)量范圍1mm
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